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仕様1:純度≥99.5%、総金属不純物≤500ppb
仕様2:純度≥99.9%、単一金属不純物≤10ppb
| Name | イミダゾ[4,5-d]イミダゾール-2,5(1H,3H)-ジオン、テトラヒドロ-1,3,4,6-テトラキス(メトキシメチル)-3a-メチル-6a-フェニル- |
| CAS番号 | 721969-01-3 |
| 分子式 | C₁₉H₂₈N₄O₆ |
| 構造式 | ![]() |
| 用途 | 半導体材料、フォトレジスト、ArFおよびKrFフォトレジスト分野に適用されています。 |
| 純度 | グレード1:≥99% |
| グレード2:≥99%、総金属不純物≤50 ppb | |
| 包装仕様 | kg/袋、25 kg/ドラム |
半導体およびフォトレジスト分野において、先端ノードのチップ製造向けArFおよびKrFフォトレジスト配合物に、超高純度架橋剤として専用に使用されます。
Q1:ArF/KrFフォトレジスト向けに、どのような超高純度グレードが提供されていますか?
A:≥99.5%(総不純物≤500ppb)と≥99.9%(単一金属≤10ppb)の2仕様です。
Q2:微量金属の分析には、どの分析装置が使用されますか?
A:全元素微量金属分析には高感度ICP-MSが使用されます。
Q3:NDAに基づいてサンプルを依頼する方法は?
A:NDA締結後、超高純度フォトレジストサンプルは5営業日以内に発送されます。
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